日本ゼオン、電子線レジストが優秀賞を受賞

　日本ゼオンは6月25日、同社が開発した次世代電子部品向けポジ型電子線レジストが、電子デバイス産業新聞主催の「半導体・オブ・ザ・イヤー2020」において、半導体電子材料部門で優秀賞を受賞したと発表した。

　今回、受賞対象となった電子線レジスト「ZEP530A」は、従来品より優れた解像度に加え、ドライエッチング耐性や広いプロセスマージンを有しており、薄膜化により、ハーフピッチ（hp）17nmのレジストパターンの解像が確認されている。

　同社は、主鎖切断型のポジ型電子線レジスト（電子線照射によりポリマーの主鎖がモノマー単位にまで分解するようにポリマー設計したポジ型電子線レジスト）のZEPシリーズを国内外に展開しているが、次世代電子部品向けに開発され、昨年上市された本製品は、5G（第５世代移動通信システム）時代の本格的な到来を前に、すでに量産が開始されており、高い好評を得ている。