ランクセス、半導体製造用超純水向け混床樹脂の新製品を開発

　独・ランクセスは、半導体製造工程で使用される超純水向けの新たな混床樹脂「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD PLUSを開発した。

　同製品は、従来品「レバチット」ウルトラピュア 1296 MD混床樹脂と比較し、鉄、亜鉛、ナトリウムなどの金属の含有量を大幅に低減する。

　半導体やディスプレイの製造では、使用する水の純度を確保するために複雑な水処理が必要となり、最新世代のウエハーとマイクロチップでは、使用するイオン交換樹脂システムに高いレベルの品質が要求される。

　さらに、新しい分析システムでは、ppt（1兆分率）オーダーのレベルでイオンを分析することができ、イオンの種類によっては、ppq（1,000兆分率）のレベルまでの分析が可能となっている。

　現代の産業で要求される半導体の性能を実現するためには、およそ200の処理工程があり、そのために必要な超純水は、複雑な多段階プロセスを経て供給されている。この処理の中で最も重要な工程に、標準的なイオン交換、逆浸透、脱気、限外ろ過、過酸化水素の除去による通常の一次脱塩があるが、最終段階で行うのが超純水用混床樹脂を用いた最終ポリッシングとなり、新製品はこの最終ポリッシングのために開発された。