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大流量・超低偽計数レベルを実現

ニッタ、ウォーターベース凝縮粒子カウンターを発売

工業用品 2017-06-01

AeroTrak9001

AeroTrak7950


 ニッタは6月1日、ウォーターベースで大流量・超低偽計数レベルを実現した米国・TSI社製の凝縮粒子カウンター(CPC)「AeroTrak9001」の販売を開始したと発表した。

 同製品はウォーターベースでは唯一の層流式トリプルディテクター搭載の革新的な構造により、偽計数率が非常に低く、大流量、幅広い自己診断機能によって超クリーン環境でも適正な測定ができる。また、高圧ディフューザ(HPD)「AeroTrak7950」と併用することで高圧ガス中のナノ粒子の測定も可能になる。

 さらにAeroTrak9001はクリーンルームの重要な製造プロセスを継続的に監視できるように連続6カ月間メンテナンスをしなくても連続測定ができる世界初のウォーターベースのクリーン用CPCとなっている。

 アルコールやその他の非ウォーターベースの凝縮粒子カウンターとは異なり、化学物質を排出しない。

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