ダイキン工業は4月24日、半導体製造装置向けに需要拡大が見込まれるパーフロゴム（FFKM）の供給能力を、2022年比で3倍以上に増強すると発表した。FFKMは現在、淀川製作所（大阪府摂津市）で生産しているが、これに続き鹿島製作所（茨城県神栖市）に新設するプラントでも2027年から生産を立ち上げ供給体制を順次強化し、新規需要の吸収につなげる。

　新プラントでは、環境問題に配慮して製造工程にフッ素系界面活性剤を使用しないなど生産技術を高度化するとともに、安定供給体制を強化する。さらに、次世代ニーズに対応するクリーン化プロセスの深化と清浄度管理の水準向上を図るとともに、データのトレーサビリティを強化して、品質の安定性を高める。