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「半導体・オブ・ザ・イヤー2020」で

日本ゼオン、電子線レジストが優秀賞を受賞

原材料 2020-06-26

 日本ゼオンは6月25日、同社が開発した次世代電子部品向けポジ型電子線レジストが、電子デバイス産業新聞主催の「半導体・オブ・ザ・イヤー2020」において、半導体電子材料部門で優秀賞を受賞したと発表した。

走査型電子顕微鏡による上面観察写真(hp 17nm L/S)/レジスト膜厚:40nm、描画装置:ELS-F150(エリオニクス)


 今回、受賞対象となった電子線レジスト「ZEP530A」は、従来品より優れた解像度に加え、ドライエッチング耐性や広いプロセスマージンを有しており、薄膜化により、ハーフピッチ(hp)17nmのレジストパターンの解像が確認されている。

 同社は、主鎖切断型のポジ型電子線レジスト(電子線照射によりポリマーの主鎖がモノマー単位にまで分解するようにポリマー設計したポジ型電子線レジスト)のZEPシリーズを国内外に展開しているが、次世代電子部品向けに開発され、昨年上市された本製品は、5G(第5世代移動通信システム)時代の本格的な到来を前に、すでに量産が開始されており、高い好評を得ている。

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