レゾナック、半導体向け高純度フッ化水素ガスの製造体制強化

　レゾナックは徳山事業所（山口県周南市）で、半導体回路のエッチング工程に使用される「高純度フッ化水素ガス（HF ガス）」の製造を 2026 年内に新たに開始し、川崎事業所と合わせた国内2拠点体制となる予定。HFガスは、半導体の微細な回路を高精度に加工する「クライオエッチング」をはじめとする先端技術において需要が高まっている。同社ではこうした状況を受けて、安定供給体制の強化を図る。

　高純度ガスは、半導体ウエハーの回路形成（前工程）で使われる材料で、近年の半導体市場の拡大に伴い需要が増加している。特にデータセンターや AI 用途の拡大を背景に、半導体チップを 3 次元的に高密度に積層する構造の採用が進んでおり、積層された多数の層を貫く微細で深い回路を高精度に形成する技術が求められている。

　こうしたニーズに対応する技術として注目されているのがクライオエッチング。この技術は、ウエハーを極低温に冷却した状態でエッチングを行うことで側壁を保護しながら加工でき、従来よりも深く滑らかな微細構造を高精度に形成することができる。

　同社が新たに製造するHFガスは、この先端エッチングプロセスにおいて酸化膜の除去などに使用される重要な材料で、クライオエッチング技術の普及に伴い、より高い純度と安定した供給が求められている。また、こうした先端プロセスの要求に対応し、微細で深い回路構造の形成を支える材料として、今後需要の拡大が見込まれている。こうした市場環境を踏まえ、同社は需要拡大に対応できる供給体制の強化を目的として、徳山事業所での本製品の年内製造開始を予定している。半導体製造工程で使用される高純度ガスを幅広く展開し、エッチングや成膜工程に対応した製品群を取り揃えている。

　同社では今後も本取り組みを通じて、拡大する半導体材料市場に対応するとともに、顧客ニーズに迅速に応え、半導体産業の発展にも寄与していく考えだ。